
Shandong Sheng tai Zirconium Resources Co., Ltd.
主营产品
Main product

氧化钇喷涂粉
Yttria spray powder
密度:≥5.01g/m³
粒度范围:0.4~45微米
流动性:≥30s/50g
钇含量:≥99.999%/99.99%
氧化钇喷涂粉CAS: 1314-36-9
氧化钇喷涂粉的HS海关编码:2846901100
氧化钇喷涂粉是专为热喷涂工艺设计的高纯陶瓷粉体,核心用途是为各类高端装备制备耐强腐蚀、超高温稳定、高洁净度的特种防护涂层,目前已成为半导体、新能源、航空航天等领域不可替代的核心喷涂材料。
🔬 半导体制造领域
这是氧化钇喷涂粉最核心的刚需应用场景:
- 用于刻蚀机、PVD/PECVD、ALD等设备的腔体、内衬、喷淋头、聚焦环、静电卡盘等关键部件表面制备防护涂层。
- 涂层可抵御氟基、氯基强腐蚀性等离子体的长期冲刷,稳定性远超氧化铝和普通氧化锆,避免设备部件被侵蚀产生颗粒污染晶圆,大幅提升芯片制造良率。
- 4N(99.99%)纯度粉体适配28nm及以上成熟制程的大型腔体喷涂,5N(99.999%)超高纯粉体专供7nm及以下先进制程的精密小件,杜绝微量杂质析出影响制程精度。
🔋 新能源制造领域
适配锂电、氢能等严苛高温生产工况:
- 动力电池正极材料烧结匣钵喷涂4N高纯氧化钇涂层,可抵御锂盐腐蚀和反复冷热循环冲击,长期高温使用不变色、不开裂、不掉粉,大幅延长匣钵使用寿命。
- 5N超高纯粉体用于固态电池烧结、车规级半导体生产等高洁净场景,从源头避免杂质混入电池或芯片产品,保障高端制造的工艺精度。
- 氢能高温部件、精密生产工装夹具喷涂该涂层后,抗热震、抗腐蚀性能显著提升,适配连续化量产作业节奏。
✈️ 航空航天与高端工业领域
面向极端工况提供特种防护:
- 用作航天发动机、高超飞行器的抗烧蚀、隔热、绝缘涂层,在1800℃以上极端高温气流冲刷下,保护金属基体不熔化、不氧化,长期服役无相变、不脆裂。
- 用于高温炉内绝缘件、熔融金属接触部件、玻璃成型模具表面,抵御熔融金属液侵蚀、抗高温沾粘,大幅延长炉内构件和模具的使用寿命。
- 作为氧化锆陶瓷的稳定剂原料,精准掺入后制备的钇稳定氧化锆(YSZ)热喷涂粉,是航空发动机热端部件、燃气轮机叶片的经典热障涂层材料,实现高效隔热防护。
技术指标
Technical parameter
| 密度 (Density) | 流动性 (Liquidity) | 粒径范围 (Particle size range) | 形貌 Appearance | 纯度/规格 Purity / Specification | 应用场景 Application scenario |
| >5.01g/m³ | ≥30s/50g | 0.4~45μm | 白色粉末 | 99.999%/99.99% /99.9%/99.0% | 半导体、航空航天、航海涂层、新能源电池正极材料 |









